突破OLED核心装备技术困局 欣奕华持续发力显示行业OLED蒸镀设备

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8.5代线性蒸发源已成功引入客户的试生产线，点蒸发源通过了大规模生产验证...自进入oled行业以来，新一华一直积极部署并不断努力展示行业的核心设备——OLED蒸发设备。随着oled应用场景从电视、手机等传统领域迅速扩展到智能家居、智能汽车、远程医疗等全新场景，企业在动荡的行业发展中不断推进技术挑战，新一华看到了更多的可能性。

在2020中国显示器大会上，新一华科技集团oled事业部总经理曹景波发表了题为《oled蒸发设备及核心器件的发展现状》的精彩演讲。他与与会的专家、学者和企业代表一起讨论了oled蒸发设备的现状，并分享了新一华相关设备和部件的发展情况。

目前，全球新显示产业正处于第三代技术发展阶段。cinno 研究数据显示，2019年全球oled产能总面积约为2200万平方米；在新产能持续生产的推动下，预计2024年该数字将达到5560万平方米，增长率超过150%。巨大的产能投资将推动oled渗透率从供应方持续上升。同时，5g一代的到来将创造更多的可能性，引领消费电子产品的升级，oled行业将出现新的产品增长点。为此，国内BOE、华星光电等厂商已经在oled行业进行了大规模布局，但大部分上游专用设备来自tokki、 yas、sfa、 sunic等企业，产业发展始终受制于人。曹景波表示，“国内oled设备制造商起步较晚，而R&D需要大量的资金投入。当地供应链和人才的缺乏极大地影响了设备的国产化进程。”

面对oled核心设备的技术困境，鑫亿华于2015年成立了oled事业部，专门研究oled蒸发设备技术。目前，有机发光二极管蒸发设备已经实现了自主开发和工业应用，包括蒸发源、对准系统、研发和批量生产蒸发设备。此外，在我国oled设备制造技术缺乏的背景下，公司与国际领先的加工企业合作，引进国外高端设计制造技术，开展了深入的技术开发验证和工艺研究测试，成功突破了核心工艺技术(多线源均匀共蒸发工艺技术和掩膜精确对准技术)。鑫亿华掌握了oled蒸发设备的关键部件、技术和核心制造能力，能够为国内外oled行业的相关客户提供高水平的oled蒸发设备系统产品和生产线技术改造服务。此外，新怡化还可根据客户要求定制开发制造各种尺寸的蒸发源(点源、线源)、对准系统、蒸发室等核心部件和成套设备，以满足不同客户的使用需求。

会上，曹景波专门介绍了新一化在蒸发源和中小型蒸发设备方面的发展状况。“对高ppi显示器的追求促使蒸发源的设计不断升级。由于蒸发产生的阴影需要减少，我们也在不断改进蒸发技术。例如，为了扩大蒸发的入射角，对喷嘴的N值进行了设计和改进。”曹景波说，“新一化蒸发源是完全独立研发的，现在已经达到了量产工艺水平。8.5代线性蒸发源已成功引入客户试生产线，点式蒸发源也通过了量产验证”；鉴于中小型蒸发设备的研发进展和市场推出，新一华在不断技术突破的基础上，已经实现了3台以上小型oled蒸发设备的销售业绩。其中，自主研发的对准装置核心部件已成功引入客户的第六代生产线。与此同时，新一华是中国第一家开发g2.5(玻璃尺寸370mmx470mm)集束蒸发机和12英寸ar/vr(晶圆直径300mm)蒸发机的企业，这进一步填补了国内自主开发的oled蒸发机型号空怀特的空白。

随着未来市场需求增长率的提高，中国oled 蒸发机市场将迎来一个发展的关键时期，如何做好上游关键设备一直是新一华关注的问题。据报道，新一化已被布置在高代蒸发机上，并卷成 卷设备。此外，随着有机发光二极管面板容量的增加，大规模生产效率需要提高，而较长的蒸发时间要求也对蒸发效率和坩埚容量提出了更高的要求。新怡化还将对蒸发源(高温线源)进行深入研究，解决目前高温物料点源蒸发效率低、容量有限的问题。“新沂华将继续坚持以客户为中心，共同创新，开拓进取，以优质的产品推动国内oled设备市场的蓬勃发展，为中国显示器行业的发展做最好的注脚。”曹景波说道。

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